zrozumienie zachowania plazmy zapewnia stabilność

@Plasma systemy często ocenia się na podstawie wyników. Jeśli obróbka powierzchni wygląda jednolicie lub wskaźnik osadzania spełnia oczekiwania, proces uznaje się za udany. To, co dzieje się wewnątrz samej plazmy, często traktowane jest jako drugorzędne, coś, co można wywnioskować, a nie zrozumieć. Takie podejście działa, dopóki warunki się nie zmienią. Gdy wydajność się zmienia lub pojawiają się nieoczekiwane zachowania, brak wyjaśnienia staje się prawdziwym ograniczeniem.
Tradycyjna kontrola plazmy koncentruje się na punktach ustawienia i wynikach. Moc, ciśnienie i przepływ gazu są dostosowywane w celu utrzymania akceptowalnych wyników, ale wewnętrzny stan plazmy pozostaje w dużej mierze nieprzejrzysty. Gdy występują odchylenia, inżynierowie polegają na doświadczeniu i próbach i błędach, aby przywrócić stabilność. System reaguje, ale nie wyjaśnia.